fatique fisika dasar

7/25/2019 Fatique Fisika Dasar

http://slidepdf.com/reader/full/fatique-fisika-dasar 1/4

JURNAL DAN REVIEW JURNAL

Tensile and Tensile-Mode Fatigue Testing of Microscale

Seci!ens in "onstant #u!idit$ En%iron!ent

T& Tsuc'i$a( )& )a!a*i( +& Sugano dan ,& Taata . /001

Disusun ole' 2

Argadia Tegu' Widodo

I0344040

JURUSAN TE+NI+ INDUSTRI FA+ULTAS TE+NI+

UNIVERSITAS SE5ELAS MARET SURA+ARTA

/044



REVIEW JURNAL

4& Ta'un 6e!uatan Jurnal&

Jurnal ini dibuat pada tahun 2008.

/& Judul Jurnal

Tensile and Tensile-Mode Fatigue Testing of Microscale Specimens in Constant

Humidit !n"ironment.

3& 6enulis

T. Tsuchia# $. $ama%i# &. Sugano dan '. Tabata.

7& Su*e8 6enelitian

&eandalan sistem mi(roele(trome(ani(al )M!MS* adalah masalah ang men%adi

perhatian besar (arena mere(a saat ini diguna(an dalam berbagai macam perang(at

termasu( otomotif# industri dan (onsumen perang(at. &e(ompa(an i%in M!MS

diguna(an dalam perang(at portabel# ang membuat mere(a bah(an lebih (ritis

(eandalanna. +eda dengan perang(at mi(roele(troni(# M!MS perlu secara

me(anis diandal(an. 'leh (arena itu# (eandalan me(ani( bahan ang diguna(an di

M!MS harus ditentu(an untu( mempredi(si hidup mere(a.

9& Tu*uan 6enelitian

Tu%uan dila(u(an penelitian ini adalah untu( mengetahui pengaruh (ontrol

ling(ungan (elembaban terhadap ting(at (elelahan )fati,ue*.

:& 6rosedur

SCS spesimen dibuat dari sili(on on insulator )S'* afer. &etebalan nominal

lapisan perang(at tersebut 2 /m. ua %enis spesimen ang diguna(an dengan

pan%ang 120 dan 00 /m untu( bagian paralel. Tanda spesimen mengu(ur masing-masing bagian paralel dengan mengu(ur 100 atau 300 /m. 4enampang melintang

dimensi dari semua spesimen diu(ur setelah gagal dengan memindai mi(ros(op

ele(tron. Hal ini dila(u(an (arena "ariasi (etebalan lapisan perang(at afer S'

ba(u ang besar dan melemah(an diprodu(si oleh etsa (ering dari lapisan perang(at

ang disebab(an besarna "ariasi lebar spesimen.



;& Metode

Metode penelitian dila(u(an dengan dua cara# aitu u%i (elelahan dan (uasi statis u%i

tari(. &uasi statis tes tari( dila(u(an untu( menentu(an pengu%ian (ondisi

(elelahan. Sebuah beban tari( ang diterap(an menggusur tahap pie5oele(tri( pada

ting(at 0.3 /m6secon. Sedang(an tes (elelahan dila(u(an pada 7 (elembaban

dengan (ondisi ang berbeda. Tes pada (ondisi (elembaban ting(at rendah dan

ting(at tinggi dila(u(an mengguna(an sistem (ontrol.

1& Analisis

ntu( tes ang dila(u(an di laboratorium udara# penutup ruang telah dihilang(an

untu( menge(spos spesimen pada laboratorium udara. Tegangan ma(simum dari

si(li( sinusoidal stres ditetap(an antara 30 dan 100 9 dari rata-rata (e(uatan tari(

diu(ur dalam tes (uasi statis di laboratorium udara. Fre(uensi u%i adalah :0 H5#

rasio stres 0#1-0#2 dan %umlah ma(simum si(lus adalah 10. %i(a ang(a si(lus

mencapai 10 ma(a tegangan ma(simum mening(at sebesar 10 9.

<& 6e!a'asan

4engu%ian (elelahan tari( modusSCS ling(ungan (elembaban tinggi

mengung(ap(an 2 temuan baru ang diperoleh dari laporan pengu%ian (elelahan

sebelumna. 4ertama# tes dila(u(an dengan mengguna(an pengu%ian tari( unia(sial

dan stres positif rasio ang menun%u((an baha tida( ada te(anan diapli(asi(an

selama pengu%ian. &ahns menimpul(an baha te(anan tegangan mengindu(si

(erusa(an me(anis dalam sili(on dan menebar reta(# ang menghasil(an fra(tur

(elelahan. &edua# (elembaban mempengaruhi (e(uatan tari(. Fre(uensi tida(

memili(i pengaruh pada sifat fati( polsilicon pada pengu%ian (elelahan.

40& #asil

alam pengu%ian (uasi statis# spesimen ditun%u((an rapuh patah dan (ur"a

perpindahan (e(uatan tari( ta( menun%u((an titi( luluh. Fra(tur dari SCS adalah

didominasi (arena cacat pada spesimen. &e(uatan tari( rata-rata delapan spesimen di

laboratorium udara adalah 7#8 ;pa. <amun penimpangan dalam (e(uatan dari

spesimen ang lebih pan%ang %auh lebih (ecil daripada spesimen ang lebih pende(.

ni mung(in (arena efe( u(uran# tetapi sulit untu( meng(onfirmasi(an hal ini (arena

terbatasna %umlah spesimen ang memili(i penimpangan besar.



44& +esi!ulan

4engembangan tester tai( modus baru ang mengguna(an sistem ele(trostatis

mence(ram dan ang dapat mengontrol pengu%ian (elembaban ling(ungan. Fra(tur

(elelahan diamati dan tahan ber(isar dari 1 sampai 10. penurunan ting(at (elelahan

diamati pada (elembaban relatif tinggi. Fra(tur ang berbeda asal usul dan fra(tur

perila(u ang diamati dalam tes tersebut menun%u((an baha uap air di udara

mempengaruhi (elelahan properti film SCS. Hasil ini menun%u((an baha tester

tari( modus (elelahan berguna untu( alat menge"aluasi (eandalan bahan mi(ro.

fatique fisika dasar

Documents